特許
J-GLOBAL ID：200903050714223049

位置決め装置、露光装置、及びデバイスの製造方法

発明者：
佐藤 幹夫

佐藤 幹夫 について

, 
井上 充

井上 充 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-324001
公開番号（公開出願番号）：特開2001-143997
出願日： 1999年11月15日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：
【要約】【課題】 簡単な構成で高精度なステージz変位計測を実現する。【解決手段】 微動ステージの水平方向の変位を計測するための第1のミラー面と、前記微動ステージの鉛直方向の変位をレーザー測長器によって計測するための第2のミラー面を備えた微動ステージにおいて、前記鉛直方向の変位を計測するための第2のミラー面p2を、前記第1のミラー面plより下に、別構造として配置する。また、微動ステージにハーフミラーを設ける。
請求項（抜粋）：
複数の方向に移動可能な移動体と、該移動体に設けられた第1反射面と、該移動体に設けられ、該移動体を構成する部材の下面もしくは側面に該移動体とは別個の部材で形成された第2反射面と、該第1反射面で第1のレーザ計測ビームを反射させて該移動体の水平方向及び該水平方向に平行な回転方向の位置情報、さらに該第2反射面で第2のレーザ計測ビームを反射させて該水平方向を複数含む面と交差する方向の該移動体の位置情報をそれぞれ計測する位置計測器と、を有することを特徴とする位置決め装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 F ,  H01L 21/30 503 A
Fターム (14件)：
5F031CA02 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031MA27 ,  5F046CB02 ,  5F046CB07 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC16
引用特許：
審査官引用 (3件)

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