共焦点走査型顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-033738
公開番号（公開出願番号）：特開平7-244238
出願日： 1994年03月03日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【目的】照射光の波長の変更にあたって精密な位置合わせが必要な共焦点光学系の構成を必要としない共焦点走査型顕微鏡を提供する。【構成】試料900上の照射光の微小スポットから迷光カット用の絞り500に至る共焦点光学系内には分光用の部品を配置せずに、共焦点走査型顕微鏡の光学系を構成し、試料での発生光の分光処理を、発生光が共焦点光学系を介して迷光を充分に低減した後に実施する。この結果、精密な調整が必要な共焦点光学系内の構成を変更せずに、簡易な変更で照射光の波長を変更して観測を実行する。

請求項（抜粋）：

観測対象である試料に照射する照射光を出力する光源部と、前記光源から出力された照射光を入力し、外部からの指定に応じて照射光の出力方向を変化させる第1の光学系と、前記第1の光学系を介した照射光を試料上の一点である第1の点に集光する第2の光学系と、照射光が前記第1の点に照射された結果として前記試料の前記第1の点から出力された、照射光と同一の波長を有する反射光あるいは透過光と照射光とは異なる波長を有する反応光とからなる発生光を第2の点に集光する第3の光学系と、前記第2の点を含み光軸に垂直な平面上の前記第2の点および前記第2の点の近傍領域に入射した発生光のみを選択的に透過する光透過制限部と、前記光透過制限部を介した発生光を分光し、波長に応じた光路を設定する分光部と、前記分光器から出力した発生光を検出する光検出部と、を備えることを特徴とする共焦点走査型顕微鏡。

引用特許：

審査官引用 (9件)

分光学的に相関関係のある光走査顕微鏡検査法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-116727 出願人：バイエル・アクチエンゲゼルシヤフト
特開平4-315119
特開平2-267513

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