特許
J-GLOBAL ID:200903050807943050
研磨装置、研磨方法、磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスクの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人 アクア特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-251645
公開番号(公開出願番号):特開2007-118172
出願日: 2006年09月15日
公開日(公表日): 2007年05月17日
要約:
【課題】配向パターンを有する回転ブラシを用いた場合であっても、基板端面の面取部を裏表均等に研磨することが可能な研磨装置、研磨方法、磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスクの製造方法を提案することを目的としている。【解決手段】円盤状または円柱状の被研磨体1の外周面に接触する一対の回転ブラシ2、3を備え、被研磨体1と一対の回転ブラシ2、3を各々平行な軸心で同方向に回転させて被研磨体1の外周面の研磨を行う研磨装置であって、一対の回転ブラシ2、3が各々螺旋状の配向パターンを有するとともに、各回転ブラシ2、3の配向パターンが互いに逆向きとなるように設けられていることを特徴とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
円盤状または円柱状の被研磨体の外周面に接触する一対の回転ブラシを備え、前記被研磨体と前記一対の回転ブラシを各々平行な軸心で同方向に回転させて前記被研磨体の外周面の研磨を行う研磨装置であって、
前記一対の回転ブラシが各々螺旋状の配向パターンを有するとともに、各回転ブラシの配向パターンが互いに逆向きとなるように設けられていることを特徴とする研磨装置。
IPC (3件):
B24B 29/00
, B24B 9/00
, G11B 5/84
FI (3件):
B24B29/00 F
, B24B9/00 601G
, G11B5/84 Z
Fターム (16件):
3C049AA06
, 3C049AA07
, 3C049AA09
, 3C049AA11
, 3C049AA18
, 3C049AB04
, 3C049AB08
, 3C049CA01
, 3C049CB01
, 3C049CB03
, 3C058AA06
, 3C058AA09
, 3C058AA18
, 5D112AA02
, 5D112BA03
, 5D112GA10
引用特許:
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