特許
J-GLOBAL ID：200903050833723467

感光性樹脂組成物

発明者：
高橋 修一

高橋 修一 について


出願人/特許権者：
クラリアント ジャパン 株式会社

クラリアント ジャパン 株式会社 について


代理人 (1件)： 鐘尾 宏紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-286418
公開番号（公開出願番号）：特開2001-109147
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【目的】高感度で、現像性、残膜性に優れた新規感光性樹脂組成物を提供する。【構成】感光性物質と樹脂とを含有する感光性樹脂組成物において、感光性樹脂組成物中の樹脂成分として、屈折率差が0.03以上である2種以上の樹脂を用いることにより、感光性樹脂組成物中での光散乱現象を利用して感光性樹脂組成物の感度を向上させる。屈折率差が0.03以上である2種以上の樹脂の例は、例えばノボラック樹脂とポリメチルメタクリレートなどのポリメタクリレート類との組合せである。
請求項（抜粋）：
感光性物質と2種以上の屈折率の異なる樹脂を含有する感光性樹脂組成物において、当該樹脂のうちの少なくとも2種の樹脂の屈折率差が0.03以上であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/032 ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F 7/032 ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (13件)：
2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB29 ,  2H025FA01 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17
引用特許：
審査官引用 (8件)
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