特許

J-GLOBAL ID：200903050863123910

有機・無機酸化物混合体薄膜、それを用いた受動素子内蔵電子基板及び有機・無機酸化物混合体薄膜の製造方法

発明者： 永井 晃 ,  大野 俊之 ,  北條 房郎 ,  山田 真治 ,  今野 幹男 ,  棚瀬 智和 ,  長尾 大輔
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (3件)： 小川 勝男 ,  田中 恭助 ,  佐々木 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-206488
公開番号（公開出願番号）：特開2005-056935
出願日： 2003年08月07日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：

【課題】基板に内蔵可能なコンデンサ材料を得るため、静電容量密度の高い有機・無機酸化物混合体を得ることを目的とする。【解決手段】平均粒径が90nm以下の無機酸化物粒子を有機ポリマーに分散し、誘電率10以上、厚さ900nm以下の混合体薄膜、それを内蔵する基板及びその製造方法。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

有機ポリマーに平均粒径が90nm以下の実質的に球形の無機酸化物粒子を分散した有機・無機酸化物混合体薄膜であって、該薄膜の比誘電率が10以上であり、かつ厚さが900nm以下であることを特徴とする有機・無機酸化物混合体薄膜。

IPC (6件)：

H01G4/20 ,  C08K7/18 ,  C08L101/00 ,  H01B3/00 ,  H01G4/33 ,  H05K3/46

FI (6件)：

H01G4/20 ,  C08K7/18 ,  C08L101/00 ,  H01B3/00 A ,  H05K3/46 Q ,  H01G4/06 101

Fターム (41件)：

4G047CA02 ,  4G047CA07 ,  4G047CB06 ,  4G047CC02 ,  4G047CD02 ,  4G047CD04 ,  4J002BD121 ,  4J002BH021 ,  4J002CC031 ,  4J002CD001 ,  4J002CL001 ,  4J002CM041 ,  4J002CP031 ,  4J002DE056 ,  4J002DE096 ,  4J002DE136 ,  4J002DE186 ,  4J002GQ01 ,  5E082AB03 ,  5E082BC39 ,  5E082FF14 ,  5E082FG03 ,  5E082FG22 ,  5E082FG26 ,  5E082FG32 ,  5E082FG34 ,  5E082PP01 ,  5E082PP09 ,  5E346AA13 ,  5E346CC16 ,  5E346CC21 ,  5E346DD07 ,  5E346FF45 ,  5E346GG28 ,  5E346HH06 ,  5E346HH24 ,  5G303AA01 ,  5G303AB05 ,  5G303BA03 ,  5G303CA01 ,  5G303CA09

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 高誘電体組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-101227   出願人：東レ株式会社
• 感光性誘電体形成用組成物、誘電体および電子部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-166087   出願人：JSR株式会社
• 超微粒子複合樹脂粒子、誘電体形成用組成物および電子部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-214473   出願人：ジェイエスアール株式会社
• チタニア超薄膜およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-083654   出願人：独立行政法人物質・材料研究機構
• 薄膜コンデンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-232308   出願人：株式会社日立製作所
• コンデンサ内蔵薄膜多層配線板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-171940   出願人：富士通株式会社