特許

J-GLOBAL ID：200903063761407500

チタニア超薄膜およびその製造方法

発明者： 佐々木 高義 ,  海老名 保男 ,  渡辺 遵
出願人/特許権者： 独立行政法人物質・材料研究機構
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-083654
公開番号（公開出願番号）：特開2001-270022
出願日： 2000年03月24日
公開日（公表日）： 2001年10月02日
要約：

【要約】【課題】 従来の薄膜とは微細組織、膜厚などの制御性、光吸収性などの物性が大きく異なる新規な超薄膜の開発。【構成】 層状チタン酸化物微結晶を剥離して得られる薄片粒子とポリマーが積層した多層超薄膜。薄片粒子が組成式Ti1-δO2(0≦δ≦0.5)示されるチタニアナノシートである。膜厚はサブnm〜nmレンジで制御可能である。この超薄膜は、波長300nm以下の紫外光を高効率で吸収する。チタニアナノシートが懸濁したゾルとカチオン性ポリマー溶液に基板を交互に浸漬する操作を反復することにより、基板上にナノシートとポリマーをそれぞれサブnm〜nmレベルの厚さに吸着させ、該成分が交互に繰り返す多層膜を累積することによってチタニア超薄膜を製造できる。

請求項（抜粋）：

層状チタン酸化物微結晶を剥離して得られる薄片粒子とポリマーが積層した多層超薄膜。

IPC (6件)：

B32B 9/00 ,  B01J 21/06 ,  B01J 35/02 ,  C01G 23/00 ,  C01G 23/04 ,  C03C 17/42

FI (7件)：

B32B 9/00 A ,  B01J 21/06 M ,  B01J 35/02 J ,  C01G 23/00 B ,  C01G 23/00 C ,  C01G 23/04 C ,  C03C 17/42

Fターム (40件)：

4F100AA21A ,  4F100AK01B ,  4F100AK35 ,  4F100AK80 ,  4F100BA02 ,  4F100GB90 ,  4F100JA11A ,  4F100JM02A ,  4F100JN08 ,  4G047CA02 ,  4G047CB05 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02 ,  4G059AA20 ,  4G059AB01 ,  4G059AC07 ,  4G059AC30 ,  4G059EA04 ,  4G059EB07 ,  4G059FA07 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA16 ,  4G069AA04 ,  4G069AA08 ,  4G069AA09 ,  4G069BA04A ,  4G069BA04B ,  4G069BA04C ,  4G069BA37 ,  4G069BA48C ,  4G069BC50A ,  4G069BC50B ,  4G069BC50C ,  4G069CA07 ,  4G069CA10 ,  4G069DA06 ,  4G069FA02 ,  4G069FA03 ,  4G069FB08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 膜厚の制御された無機超薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-353446   出願人：科学技術振興事業団, 三井化学株式会社
• チタニアゾルとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-197076   出願人：科学技術庁無機材質研究所長