特許

J-GLOBAL ID：200903050869042890

荷電粒子線装置

発明者： 赤津 昌弘
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (2件)： 作田 康夫 ,  井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-260400
公開番号（公開出願番号）：特開2006-079870
出願日： 2004年09月08日
公開日（公表日）： 2006年03月23日
要約：

【課題】 本発明の目的は、吸音材もしくは制振材から発生する異物の飛散を抑制してクリーンルームで使用可能にするとともに、吸音材もしくは制振材で効率良く音波を減衰するのに好適な荷電粒子線装置を提供することである。【解決手段】 上記目的を達成するため、荷電粒子線装置の鏡体,試料から発生する二次信号粒子を検出する検出手段,二次信号粒子検出手段の信号により試料像を取得する試料像取得手段,試料ホールダ,試料ステージを包囲する外装カバーと、外装カバーの内面に防塵繊維で包囲された吸音材もしくは制振材を取付ける取付け手段とを具備したものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

荷電粒子源と、前記荷電粒子源から発生する荷電粒子線を収束するための対物レンズと、前記荷電粒子源と前記対物レンズを内在する鏡体と、前記荷電粒子線の走査によって試料から発生する二次信号粒子を検出する検出手段と、前記二次信号粒子検出手段の信号により試料像を取得する試料像取得手段と、前記鏡体の側部から挿入され、前記荷電粒子線に照射される試料を支持する試料ホールダと、前記試料ホールダを前記荷電粒子線に対して傾斜および水平の移動機構を有する試料ステージを具備した荷電粒子線装置において、前記鏡体,前記検出手段,前記試料像取得手段,前記試料ホールダ,前記試料ステージを包囲する外装カバーと、前記外装カバーの内面に防塵繊維で包囲された吸音材もしくは制振材を取付ける取付け手段とを具備したことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (1件)：

H01J 37/16

FI (1件)：

H01J37/16

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 走査電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-133156   出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (3件)

• 走査電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-133156   出願人：株式会社日立製作所
• 超高圧電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-354136   出願人：株式会社日立製作所
• 精密機器の遮音装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-119232   出願人：日本電子株式会社