超高圧電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-354136
公開番号（公開出願番号）：特開2000-182553
出願日： 1998年12月14日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】電子顕微鏡鏡体を支持する吊下部材の剛性を向上することによって、高分解能の観察像を形成することができる超高圧電子顕微鏡を提供する。【解決手段】超高加速の電子線を試料に照射して、当該試料を透過する透過電子線を検出する電子顕微鏡鏡体を、架台に防振装置を介して吊り下げる構造の超高圧電子顕微鏡で、電子顕微鏡鏡体を吊り下げる吊下部材とこれを支持するための支持板を溶接接合する。

請求項（抜粋）：

超高加速の電子線を試料に照射して、当該試料を透過する透過電子線を検出する電子顕微鏡鏡体を、架台に防振装置を介して吊り下げる構造の超高圧電子顕微鏡において、前記防振装置に支持されると共に、前記電子顕微鏡鏡体を吊り下げる吊下部材を支持するための支持板を備え、当該支持板と前記吊下部材は溶接接合されることを特徴とする超高圧電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/16 , H01J 37/26

FI (2件)：

H01J 37/16 , H01J 37/26

Fターム (1件)：

5C033SS10

引用特許：

審査官引用 (4件)

荷電粒子等の多段加速管
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-316782 出願人：株式会社日立製作所
ビーム応用装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-069037 出願人：株式会社日立製作所
荷電粒子ビーム装置の密封容器
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-217445 出願人：日本電子株式会社

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