感光性組成物、感光性フィルム、及び永久パターン形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：廣田浩一 , 流良広 , 松田奈緒子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-028324
公開番号（公開出願番号）：特開2007-206609
出願日： 2006年02月06日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：

【課題】所定の高分子化合物を含むことにより、感度、解像度、無電解金メッキ耐性、及び保存安定性に優れ、高精細な永久パターン(保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターンなど)を効率よく形成可能な感光性組成物、感光性フィルム、及び前記感光性フィルムを用いた永久パターン形成方法の提供。【解決手段】バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及びアルカリ不溶性の熱架橋剤を含み、前記バインダーが、側鎖に、ヘテロ環を含んでもよい芳香族基及びエチレン性不飽和結合を有する高分子化合物を含む感光性組成物等である。前記高分子化合物が、エチレン性不飽和結合を0.5〜3.0meq/g含有する態様、前記高分子化合物が、側鎖にカルボキシル基を有し、前記カルボキシル基の高分子化合物における含有量が、1.0〜4.0meq/gである態様、などが好ましい。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及びアルカリ不溶性の熱架橋剤を含み、前記バインダーが、側鎖に、ヘテロ環を含んでもよい芳香族基及びエチレン性不飽和結合を有する高分子化合物を含むことを特徴とする感光性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/038 , G03F 7/004 , H01L 21/027 , H05K 3/00

FI (5件)：

G03F7/038 501 , G03F7/004 512 , G03F7/004 501 , H01L21/30 502R , H05K3/00 F

Fターム (27件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025BC51 , 2H025BC85 , 2H025BC92 , 2H025CA01 , 2H025CA14 , 2H025CA18 , 2H025CA23 , 2H025CA26 , 2H025CA28 , 2H025CA31 , 2H025CA39 , 2H025CA48 , 2H025CC17 , 2H025CC20 , 2H025DA01 , 2H025DA19 , 2H025FA29 , 2H025FA30

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開平3-172301号公報
硬化性樹脂組成物およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-183995 出願人：ダイセル化学工業株式会社
耐熱性感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性ドライフィルム
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-353704 出願人：東京応化工業株式会社

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審査官引用 (7件)

感光性組成物及び感光性フィルム、並びに、永久パターン及びその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-190355 出願人：富士写真フイルム株式会社
ソルダーレジスト樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-339930 出願人：株式会社アサヒ化学研究所
紫外線硬化性樹脂組成物及びドライフィルム
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-220039 出願人：互応化学工業株式会社

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