特許

J-GLOBAL ID：200903050900623855

ペリクル

発明者： 岡田 要 ,  菊川 信也 ,  三代 均
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 荒井 潤
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-047533
公開番号（公開出願番号）：特開2005-241698
出願日： 2004年02月24日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】 合成石英ガラスからなるペリクルを洗浄液により効率よく洗浄可能なペリクルの提供を目的とする。【解決手段】 略矩形のペリクルフレーム2の一方の面にペリクル板3を貼り付けて覆い、他方の面が開放された合成石英ガラスからなるペリクル1であって、前記ペリクルフレーム2と前記ペリクル板3の貼付面に前記ペリクルフレーム2の内部と外部を連通する溝4を前記ペリクルフレーム2のコーナー部に切欠いた。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

略矩形のペリクルフレームの一方の面にペリクル板を貼り付けて覆い、他方の面が開放された合成石英ガラスからなるペリクルであって、 前記ペリクルフレームと前記ペリクル板の貼付面に前記ペリクルフレームの内部と外部を連通する溝が前記ペリクルフレームのコーナー部に切欠かれたことを特徴とするペリクル。

IPC (4件)：

G03F1/14 ,  B65D85/86 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G03F1/14 J ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 502P ,  B65D85/38 L

Fターム (14件)：

2H095BC32 ,  2H095BC33 ,  2H095BC36 ,  3E096AA01 ,  3E096BA20 ,  3E096BB05 ,  3E096CA19 ,  3E096CB02 ,  3E096DA30 ,  3E096EA10X ,  3E096FA03 ,  3E096FA16 ,  3E096GA01 ,  3E096GA20

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ペリクル膜の洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-303193   出願人：日本電気株式会社
• ペリクル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-368738   出願人：旭硝子株式会社