ペリクル膜の洗浄方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤巻正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-303193
公開番号（公開出願番号）：特開平11-143054
出願日： 1997年11月05日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】マスク又はレチクルのペリクル膜のブロー洗浄の作業性を向上させ、特別な熟練を要せず、容易にペリクル面の異物を除去でき、ペリクル膜を保護でき、エア及びガス流量を削減できると共に、新たな異物の付着を防止できるペリクル膜の洗浄方法を提供する。【解決手段】ペリクル膜を音波、超音波、パルスエア等で共振させ、その反動を利用し、異物をペリクル面から除去しやすくする。そして、ペリクル膜の共振周波数でこれを振動させるため、ブロー洗浄のガスが少量でも、ペリクル膜は大きく振動するため、異物はペリクル面から離れやすくなり、容易に異物を除去することができる。

請求項（抜粋）：

ペリクル膜上の異物を除去するペリクル膜の洗浄方法において、前記ペリクル膜を振動させつつ、ペリクル膜をエアブローすることにより、前記異物を除去することを特徴とするペリクル膜の洗浄方法。

IPC (4件)：

G03F 1/14 , B08B 7/04 , H01L 21/027 , H01L 21/304 341

FI (4件)：

G03F 1/14 J , B08B 7/04 , H01L 21/304 341 Z , H01L 21/30 503 G

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-013952
洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-317489 出願人：シャープ株式会社
フォトマスクの搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-116095 出願人：ソニー株式会社

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