特許
J-GLOBAL ID：200903050937092302

検査分析方法及び装置

発明者：
岡本 好彦

岡本 好彦 について

, 
荻田 正巳

荻田 正巳 について


出願人/特許権者：
岡本 好彦

岡本 好彦 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-278561
公開番号（公開出願番号）：特開2005-043257
出願日： 2003年07月23日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：
【課題】 これまで、集積回路の微細化レベル、適用材料プロセスに合せて、各種の検査分析装置が導入され続けており、半導体集積回路装置の開発、製造では、そのコストアップの要因となっている。このようなコストアップを打破するため、複数ユーザ(顧客)からの検査分析試料を受け取り、検査分析データをそれぞれのユーザに安全に効率良く提供することを目的とする。【解決手段】 上記目的を達成するために、本発明は地理的に離れた複数ユーザ側のコンピュータとインターネットなどの通信手段を用い、検査分析装置者側によりユーザ認証してセキュリティ確保した上で、検査分析装置に対し、各ユーザのリモート制御、またはユーザの検査分析レシピーによる制御と、検査分析の出力データの暗号化により、安全に、効率よく検査分析データを提供するものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検査分析を希望するユーザより検査分析試料を受け取り、ユーザ試料の検査分析の結果である検査分析データをユーザへ提供する方法であって、 (1)前記検査分析装置の管理者は、検査分析を依頼するユーザに対し、検査分析サービス内容とそれに対応した処理費用を含む案内を提示し、 (2)前記検査分析装置の管理者は、検査分析を依頼するユーザが通信ネットワークを介して検査分析装置をリモート操作することに伴うセキュリティ確保のため、ユーザとユーザ以外の第三者とを峻別するユーザ認証を行うと共に、ユーザであることの確認後にユーザ側より検査分析試料を受け取り、 (3)ユーザは、前記検査分析装置に対し、検査分析装置側の検査分析の請負者から試料の装填準備完了通知を得た後、暗号化指定を含むユーザ側コンピュータによるリアルタイムのリモート操作、または、ユーザが暗号化指定を含む事前作成した操作レシピーにより装置管理者側の検査分析請負者が操作を行い、 (4)検査分析処理の結果得られた検査分析データのセキュリティ確保のため、検査分析処理の結果の出力データに対し、前記ユーザのみが復号できるよう暗号付加した状態で検査分析装置に一時保管され、ユーザが検査分析処理の結果の復号した検査分析データを入手する、 ことを特徴とする検査分析方法。
IPC (6件)：
G01N35/00 ,  G01N13/16 ,  G01N21/956 ,  G01N23/225 ,  G01R31/28 ,  G01R31/302
FI (7件)：
G01N35/00 Z ,  G01N35/00 F ,  G01N13/16 A ,  G01N21/956 Z ,  G01N23/225 ,  G01R31/28 L ,  G01R31/28 H
Fターム (44件)：
2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001DA06 ,  2G001DA09 ,  2G001FA02 ,  2G001FA06 ,  2G001GA04 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001HA13 ,  2G001JA01 ,  2G001JA07 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001JA16 ,  2G001KA03 ,  2G001KA20 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA00 ,  2G001PA05 ,  2G001PA07 ,  2G051AA51 ,  2G051AA61 ,  2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CB05 ,  2G051EA21 ,  2G058GA02 ,  2G058GA20 ,  2G058GE00 ,  2G058HA00 ,  2G132AA00 ,  2G132AD15 ,  2G132AE16 ,  2G132AE18 ,  2G132AE23 ,  2G132AE24 ,  2G132AF13 ,  2G132AL00
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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