特許
J-GLOBAL ID:200903050939603983
受光素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山本 秀策
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-249379
公開番号(公開出願番号):特開2001-077338
出願日: 1999年09月02日
公開日(公表日): 2001年03月23日
要約:
【要約】【課題】 受光側のパッケージ表面と空気層との界面において、外部からの入射光の反射を低減して、受光素子の高感度化を図り、さらに、光ピックアップの光学系における特性劣化を防ぐ。【解決手段】 パッケージ5の受光側の平滑化された表面6に、反射防止膜7を設けて、パッケージ表面と空気層との界面において、検出対象となる入射光が反射されるのを大幅に低減する。さらに、受光素子チップ1の受光部表面に反射防止膜4を設けることにより、パッケージ5と受光素子チップ1の界面での反射についても低減する。
請求項(抜粋):
受光素子チップと、該受光素子チップの周囲を光透過性材料からなる封止材を用いて封止してなるパッケージとを備え、受光側のパッケージ表面が平滑化され、その平滑化されたパッケージ表面に接して反射防止膜が設けられている受光素子。
IPC (3件):
H01L 27/14
, H01L 23/28
, H01L 31/02
FI (3件):
H01L 27/14
, H01L 23/28 D
, H01L 31/02 B
Fターム (30件):
4M109AA02
, 4M109BA01
, 4M109CA10
, 4M109CA21
, 4M109DA07
, 4M109DB15
, 4M109DB17
, 4M109EA02
, 4M109EA10
, 4M109EA12
, 4M109EC11
, 4M109ED05
, 4M109EE11
, 4M109GA01
, 4M118AA01
, 4M118AA10
, 4M118AB05
, 4M118AB10
, 4M118GA10
, 4M118HA12
, 4M118HA14
, 4M118HA17
, 4M118HA24
, 4M118HA30
, 5F088BA01
, 5F088BB10
, 5F088CA04
, 5F088HA01
, 5F088HA05
, 5F088JA13
引用特許:
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