特許
J-GLOBAL ID：200903051008215595

カーボンナノチューブ膜、カーボンナノチューブ膜体及びカーボンナノチューブ膜付き基板並びにそれらの製造方法

発明者：
永野 孝幸

永野 孝幸 について

, 
柴田 典義

柴田 典義 について


出願人/特許権者：
財団法人ファインセラミックスセンター

財団法人ファインセラミックスセンター について


代理人 (1件)： 小島 清路 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-260036
公開番号（公開出願番号）：特開2003-063813
出願日： 2001年08月29日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：
【要約】【課題】 所定方向に配向するカーボンナノチューブ膜、カーボンナノチューブ膜体及びカーボンナノチューブ膜付き基板及びこれらを大面積且つ低コストで製造する方法を提供する。【解決手段】 本カーボンナノチューブ膜3は、グラファイト等からなる基板1上に炭化珪素からなる多結晶膜2を形成させ、その後、微量酸素を含有する雰囲気において炭化珪素が分解して炭化珪素多結晶膜の表面から珪素原子が失われる温度に加熱することにより、炭化珪素から珪素原子を完全に除去して得られる多数のカーボンナノチューブからなる。
請求項（抜粋）：
基板上に炭化珪素からなる多結晶膜を形成させ、その後、該炭化珪素多結晶膜が形成された基板を、微量酸素を含有する雰囲気において該炭化珪素多結晶膜を炭化珪素が分解して該炭化珪素多結晶膜の表面から珪素原子が失われる温度に加熱することにより、炭化珪素から珪素原子を完全に除去して得られる多数のカーボンナノチューブからなることを特徴とするカーボンナノチューブ膜。
IPC (2件)：
C01B 31/02 101 ,  B82B 3/00
FI (2件)：
C01B 31/02 101 F ,  B82B 3/00
Fターム (7件)：
4G046CA00 ,  4G046CB03 ,  4G046CC01 ,  4G046CC05 ,  4G046MA14 ,  4G046MB03 ,  4G046MC01
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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