特許

J-GLOBAL ID：200903051015841442

大型基板用カセット

発明者： 西郷 隆晄 ,  村上 文啓 ,  林原 靖久
出願人/特許権者： スターライト工業株式会社
代理人 (1件)： 柳野 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-337216
公開番号（公開出願番号）：特開平11-176921
出願日： 1997年12月08日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】 支持体に棚片を高精度で突設することができ、最小限の容積で基板の収容枚数を維持しつつ基板の出し入れ時の有効隙間を大きく確保することができ、しかも基板の大型化に伴い、収容状態の基板の撓みを抑制すべく棚片の長さを長くすることが容易且つその長さを任意に設定することが可能であり、また支持体自体も反りがなく寸法精度が高い大型基板用カセットを提供する。【解決手段】 上下方向に所定間隔毎に基板を載支する棚片4を突設した複数の支持体3を、上枠体1と下枠体2間に連結して直方体状の箱型構造となした大型基板用カセットであって、棚片は金属製の支持ピン17の先端部に合成樹脂製の先端カバー18を被着したものであり、支持体の上下方向に一定間隔毎に形成した挿入孔16に支持ピンの基端部を嵌入し、支持体の内面側に棚片を突設してなる。

請求項（抜粋）：

上下方向に所定間隔毎に基板を載支する棚片を突設した複数の支持体を、上枠体と下枠体間に連結して直方体状の箱型構造となした大型基板用カセットであって、前記棚片は金属製の支持ピンの先端部に合成樹脂製の先端カバーを被着したものであり、前記支持体の上下方向に一定間隔毎に形成した挿入孔に前記支持ピンの基端部を嵌入し、該支持体の内面側に棚片を突設してなることを特徴とする大型基板用カセット。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 基板用カセット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-022383   出願人：日本バルカー工業株式会社
• 基板用カセット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-051131   出願人：スターライト工業株式会社
• 基板用カセット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-209108   出願人：淀川化成株式会社