特許
J-GLOBAL ID：200903051073047373

照明装置、投影露光装置及びデバイス製造方法

発明者：
辻 俊彦

辻 俊彦 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-228796
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045774
出願日： 2001年07月27日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：
【要約】【課題】 被照明領域を均一な照度で照明すると共に、被照明領域に入射する光線の光強度の重心を光線の中心に一致させる照明装置、露光装置及びこれを用いたデバイス製造方法を提供する。【解決手段】 光源からの波長200nm以下の光で被照明面を照明する照明装置、露光装置及びこれを用いたデバイス製造方法であって、第1の反射型インテグレータと、該第1のインテグレータからの複数の光束を前記被照明面上に重ねる第1の集光ミラーと、前記光源と前記第1の反射型インテグレータの間に設けられた、第2の反射型インテグレータ及び当該第2の反射型インテグレータからの複数の光束を前記第1の反射型インテグレータ上に重ねる第2の集光ミラーと、を有する照明装置、露光装置及びこれを用いたデバイス製造方法を提供する。
請求項（抜粋）：
光源からの波長200nm以下の光で被照明面を照明する照明装置であって、第1の反射型インテグレータと、該第1のインテグレータからの複数の光束を前記被照明面上に重ねる第1の集光ミラーと、前記光源と前記第1の反射型インテグレータの間に設けられた、第2の反射型インテグレータ及び当該第2の反射型インテグレータからの複数の光束を前記第1の反射型インテグレータ上に重ねる第2の集光ミラーとを有する照明装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  G02B 27/18 ,  G03F 1/16 ,  G03F 7/20 503
FI (6件)：
G02B 27/18 Z ,  G03F 1/16 A ,  G03F 7/20 503 ,  H01L 21/30 527 ,  H01L 21/30 517 ,  H01L 21/30 531 A
Fターム (16件)：
2H095BA10 ,  2H097CA06 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  5F046BA05 ,  5F046CA08 ,  5F046CB02 ,  5F046CB03 ,  5F046CB05 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23 ,  5F046GA03 ,  5F046GA06 ,  5F046GA07 ,  5F046GB01 ,  5F046GC03
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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