特許
J-GLOBAL ID：200903051097096545

エネルギーフィルタ及び電子顕微鏡

発明者：
ジー マルチネス ロペス

ジー マルチネス ロペス について

, 
津野 勝重

津野 勝重 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (8件)： 三好 秀和 ,  三好 保男 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  栗原 彰 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-364935
公開番号（公開出願番号）：特開2004-199929
出願日： 2002年12月17日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：
【課題】収差を小さくする。【解決手段】光軸L0に沿って入射される電子ビームを光軸L0に垂直な一方向に収束する1段目フィルタ12と、前記光軸L0に沿って1段目フィルタ12の後段に配置され、1段目フィルタ12によって一旦収束された電子ビームが入射され、電子ビームの軌道が前記収束位置について反転するようになされた、光軸L0に沿って1段目フィルタ12と同じ長さを有する2段目フィルタ14と、を有し、1段目及び2段目フィルタ12,14は、それぞれ、光軸L0に沿って、光軸L0について互いに45度の角度をなす電気及び磁気4極場を有し、電気及び磁気4極場によってそれぞれ非点なし収束を実現する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光軸に沿って荷電粒子が入射され、前記荷電粒子を前記光軸に垂直な一方向に収束する第1のフィルタと、 前記光軸に沿って前記第1のフィルタの後段に配置され、前記第1のフィルタによって一旦収束された荷電粒子が入射され、前記荷電粒子の軌道が前記収束位置について反転するようになされた、前記光軸に沿って前記第1のフィルタと同じ長さを有する第2のフィルタと、 を有し、 前記第1及び第2のフィルタは、それぞれ、前記光軸に沿って、電気及び磁気4極場を有し、電気及び磁気4極場によってそれぞれ非点なし収束を実現すること を特徴とするエネルギーフィルタ。
IPC (2件)：
H01J37/26 ,  H01J37/05
FI (2件)：
H01J37/26 ,  H01J37/05
Fターム (4件)：
5C033AA02 ,  5C033AA05 ,  5C033SS01 ,  5C033SS08
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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