特許
J-GLOBAL ID：200903051113267428
光ファイバ固定溝付き平面光回路部品およびその作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-119457
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313756
出願日： 1995年05月18日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：
【要約】【目的】 平面光回路部品における安価で信頼性の高い光ファイバ接続を可能にすること。【構成】 Si平面基板1面内の光ファイバ固定用V溝4の精度を均一にするために、溝形成に精度の出やすいSi(シリコン)の異方性エッチング(ウェットエッチング)を用い、Si平面基板1のウェットエッチングの後に、光ファイバ整列部Aを適当な形状の板で覆って、同部Aにガラス膜を形成しないようにして、クラッド膜とコア膜を形成して光導波路部Bを作製し、その後覆っていた板を除去する。
請求項（抜粋）：
平面基板上に作製された光導波路部と該光導波路部に接した光ファイバ整列部より構成され、前記光導波路部は、少なくともコアと該コアよりも屈折率の低いクラッドよりなる光導波路よりなり、前記光ファイバ整列部は前記平面基板上に作製され、且つ前記コアと連続する光ファイバ固定用溝よりなる光ファイバ固定溝付き平面光回路部品において:前記光ファイバ整列部の前記光ファイバ固定用溝近傍は前記平面基板が露出していることを特徴とする光ファイバ固定溝付き平面光回路部品。
引用特許：
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