特定ガス回収装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-164310
公開番号（公開出願番号）：特開2002-355518
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月10日
要約：

【要約】【課題】被回収容器26内に特定ガスを回収するに当たって、ガス分離部で特定ガスと他の混合ガスとに分離する工程にあいて、分離しきれなかった特定ガスが多少あっても、大気中に一切放出することがないような特定ガス回収装置を提供する。【解決手段】ガス分離部21で、特定ガスと他の混合ガスとに分離する過程において、窒素ガス等の混合ガスと共に僅かな特定ガスが混在する排ガスを、排ガス入口20を介してガス分離部21内の排ガスタンク6に一旦貯留した後に排ガス出口2を介して被回収容器26へ再び還流する。

請求項（抜粋）：

ガス分離部とポンプを有する特定ガス回収装置において、被回収容器より特定ガスを含む被回収ガスを該ガス分離部に導入し、特定ガスと他の混合ガスとに分離せしめて特定ガスを回収すると共に、該混合ガスを該ポンプにて被回収容器に戻すように構成したことを特徴とする特定ガス回収装置。

Fターム (8件)：

4D012CA03 , 4D012CA12 , 4D012CB16 , 4D012CE01 , 4D012CE02 , 4D012CH03 , 4D012CH06 , 4D012CJ01

引用特許：

審査官引用 (2件)

SF6ガス回収装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-010143 出願人：山陽電子工業株式会社
SF6ガス回収装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-010142 出願人：山陽電子工業株式会社

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