特許
J-GLOBAL ID：200903051127400295
原子間力顕微鏡および原子間力顕微鏡における摩擦の解析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
川井 治男 (外1名)
, 川井 治男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-305564
公開番号（公開出願番号）：特開平8-146019
出願日： 1994年11月15日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】 試料と探針との間の垂直荷重を変えた場合の捩れ振動の位相の変化から、すべりやせん断変形などの摩擦力の発生原因を推定する摩擦解析方法及びそれに用いる原子間力顕微鏡を提供すること。【構成】 原子間力顕微鏡1において、試料8と探針4に相対的な横振動を作用させる振動装置と試料8と探針4との間の垂直荷重を調整する垂直荷重調整装置を備える。試料8を横方向に振動させ、この試料8の横振動によって励起されるカンチレバー11の捩れ振動の位相と振幅を同時に計測し、この計測値の試料8と探針4との間の垂直荷重に対する依存性を測定して試料8と探針4の摩擦を解析する。
請求項（抜粋）：
原子間力顕微鏡において、試料と探針に相対的な横振動を作用させる振動装置と前記試料と前記探針との間の垂直荷重を調整する垂直荷重調整装置を備えることを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, G01L 5/00
