特許
J-GLOBAL ID：200903051200998900
多層感光体の露光方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
, 重松 万里
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-165202
公開番号（公開出願番号）：特開2005-345749
出願日： 2004年06月03日
公開日（公表日）： 2005年12月15日
要約：
【課題】 多層感光体を構成する感度が異なる複数の層を同じ光で露光する際に、感度が高い層において、反応が許容される範囲よりも広い範囲で反応が生じてしまうことを防止する。【解決手段】 露光装置14の領域設定手段25において反応が許容される範囲として設定された領域を、2種類の領域に分類する。許容される範囲よりも広い範囲で反応が生じてしまう可能性が高い領域については、第2変換処理部30において許容される範囲よりも所定の縮小量分小さい領域を光照射領域と定める。一方、そのような可能性が低い領域については、第1変換処理部31において許容される範囲として設定された領域そのものを光照射領域と定める。光照射系33により、定められた光照射領域に光を照射する。【選択図】 図14
請求項（抜粋）：
第1のエネルギー量以上の光エネルギーに反応する第1感光層と前記第1のエネルギー量よりも大きい第2のエネルギー量以上の光エネルギーに反応する第2感光層の少なくとも2層が積層されてなる多層感光体の一部の領域に対し、前記第2のエネルギー量以上の所定量の光エネルギーを照射面に与える光照射系により光を照射して、該多層感光体を選択的に露光する方法において、
前記第1感光層について、前記反応を許容する1以上の反応許容領域を設定し、
設定された反応許容領域を表す許容領域情報と、
光エネルギーに対する前記第1感光層の反応特性を表す第1層感度情報と、
光エネルギーに対する前記第2感光層の反応特性を表す第2層感度情報と、
前記光照射系からの光が照射面に与える光エネルギーの分布を表すエネルギー分布情報とに基づいて、
前記許容領域情報が表す反応許容領域の内側に配置され且つ該反応許容領域よりも小さい光照射領域を決定し、
前記光照射領域に前記光照射系からの光を照射することを特徴とする多層感光体の露光方法。
IPC (3件)：
G03F7/20
, H01L21/027
, H05K3/00
G03F7/20 501
, H05K3/00 G
, H01L21/30 573
2H097AA03
, 2H097CA17
, 2H097FA07
, 2H097LA20
, 5F046NA01
, 5F046NA19
