特許
J-GLOBAL ID：200903051202979490
ポジ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-128100
公開番号（公開出願番号）：特開平8-320563
出願日： 1995年05月26日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：
【要約】【目的】 感度、解像度が高く、レジスト形状が良好なポジ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供する。【構成】 (a)分子内にtert-アミロキシカルボニル構造を有し、分子量分散度(D)(重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn))が1.01〜1.5の範囲である単分散性ビニル重合体、(b)活性光線の照射により酸を発生する化合物を含有するポジ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント。
請求項（抜粋）：
(a)分子内にtert-アミロキシカルボニル構造を有し、分子量分散度(D)(重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn))が1.01〜1.5の範囲である単分散性ビニル重合体及び(b)活性光線の照射により酸を発生する化合物を含有するポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 503
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 503
