特許
J-GLOBAL ID：200903051280374457

圧電基板の材料定数測定方法および装置

発明者：
王 守▲奇▼

王 守▲奇▼ について

, 
宇田 聡

宇田 聡 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-316654
公開番号（公開出願番号）：特開2002-122471
出願日： 2000年10月17日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 圧電単結晶体の均一性評価を短時間のうちに正確に実施するべく、圧電基板の材料定数を測定するための方法および装置を提供する。【解決手段】 圧電単結晶体から切り出した圧電基板Pについて、圧電基板Pの各所ごとに厚み滑り振動の共振周波数、および基板厚さを測定し、両測定値を乗じて圧電基板Pの各所ごとの材料定数を算出する。共振周波数は、インピーダンス・アナライザから交流信号を発することにより測定電極を経て圧電基板Pを励振し、測定個所におけるインピーダンスと位相との周波数依存性を検出後、演算部30において周波数依存性を示す波形の解析を行うことにより求める。一方、基板厚さは、圧電基板に向けて光を照射し、圧電基板の表面での反射光と裏面での反射光とを干渉させ、両反射光の干渉縞をもとに測定する。
請求項（抜粋）：
圧電単結晶体から切り出した圧電基板について、該圧電基板の各所ごとに厚み滑り振動の共振周波数、および基板厚さを測定し、両測定値を乗じて前記各所ごとの材料定数を算出することを特徴とする圧電基板の材料定数測定方法。
IPC (8件)：
G01H 9/00 ,  G01B 11/06 ,  G01B 17/02 ,  G01H 13/00 ,  G01H 17/00 ,  G01R 29/22 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/02
FI (9件)：
G01H 9/00 C ,  G01B 11/06 G ,  G01B 17/02 A ,  G01H 13/00 ,  G01H 17/00 D ,  G01R 29/22 A ,  H03H 3/02 A ,  H03H 3/02 B ,  H01L 41/22 Z
Fターム (27件)：
2F065AA30 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF52 ,  2F065FF63 ,  2F065GG05 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12 ,  2F065LL49 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ44 ,  2F068AA28 ,  2F068BB05 ,  2F068DD04 ,  2F068FF23 ,  2G064AA11 ,  2G064AB01 ,  2G064AB11 ,  2G064BA02 ,  2G064BD18 ,  2G064CC17 ,  5J108MM11
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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