特許
J-GLOBAL ID:200903051335787861
ガスセンサとガス検出器
発明者:
,
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
北村 修一郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-110971
公開番号(公開出願番号):特開2000-356615
出願日: 2000年04月12日
公開日(公表日): 2000年12月26日
要約:
【要約】【課題】 高湿度の時にも他の可燃性ガス成分の影響を受けること無しに、例えばメタンを検出することが可能なガスセンサを得る。【解決手段】 基板3と膜状酸化物半導体4と、この膜状酸化物半導体4の表面を覆うように設けられた触媒層5を有するガスセンサにおいて、膜状酸化物半導体4が、基板表面に垂直あるいはほぼ垂直の方向に配列した柱状構造粒子の集合体として形成され、触媒層5中の何れかの部分が少なくとも白金を1.3重量%以上含有し、部分により膜状酸化物半導体4の表面を覆う。
請求項(抜粋):
基板と膜状酸化物半導体と、前記膜状酸化物半導体の表面を覆うように設けられた触媒層を有するガスセンサにおいて、前記膜状酸化物半導体が、基板表面に垂直あるいはほぼ垂直の方向に配列した柱状構造粒子の集合体として形成され、前記触媒層中の何れかの部分が少なくとも白金を1.3重量%以上含有し、前記部分により前記膜状酸化物半導体の表面が覆われているガスセンサ。
FI (3件):
G01N 27/12 C
, G01N 27/12 B
, G01N 27/12 D
Fターム (26件):
2G046AA19
, 2G046BA01
, 2G046BA06
, 2G046BA09
, 2G046BB02
, 2G046BE03
, 2G046DB05
, 2G046DC14
, 2G046DC16
, 2G046DC17
, 2G046DC18
, 2G046DD01
, 2G046EA02
, 2G046EA04
, 2G046FB02
, 2G046FE06
, 2G046FE11
, 2G046FE12
, 2G046FE13
, 2G046FE15
, 2G046FE29
, 2G046FE31
, 2G046FE36
, 2G046FE39
, 2G046FE44
, 2G046FE48
引用特許: