特許
J-GLOBAL ID：200903051377750976
高周波放電装置及び高周波処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-034915
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233289
出願日： 1998年02月17日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】本発明は、プラズマ放電の安定化とアンテナによるスパッタの抑制とを両立させるためにアンテナとプラズマとの静電的結合を最適に制御する。【解決手段】ループ状のアンテナ8の接地側にフローティングコンデンサ10を接続し、このフローティングコンデンサ10の容量Cf を変化させてアンテナ8上での高周波電圧分布を変化させ、このアンテナ8とプラズマとの静電的結合を制御する。
請求項（抜粋）：
少くとも1つのループ状のアンテナに高周波電力を供給して容器内に誘導電界を発生させることによりプラズマを生成する高周波放電装置において、1つの前記アンテナの接地側又は複数の前記アンテナ間にそれぞれ介装されたコンデンサ、を具備したことを特徴とする高周波放電装置。
IPC (5件)：
H05H 1/24
, C23C 16/50
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
, H05H 1/46
H05H 1/24
, C23C 16/50
, H01L 21/205
, H05H 1/46 L
, H01L 21/302 B
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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