特許
J-GLOBAL ID：200903051390080203

回折光学格子素子形状の加工方法及び回折光学格子素子形状を成形する金型の加工方法

発明者：
斉藤 輝夫

斉藤 輝夫 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 西山 恵三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-190402
公開番号（公開出願番号）：特開2001-018108
出願日： 1999年07月05日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：
【要約】【課題】 回折格子素子の複数溝加工の加工時の刃の干渉を避ける。【解決手段】 本発明は被加工面上に回折光学素子形状を加工する方法であって、前記被加工面のX,Y,Z各軸の座標軸上に加工刃を回転支持する主軸を設け、前記主軸に取り付けた加工刃の刃先角が前記回折光学素子形状の該曲面外周部の加工予定位置との干渉を避ける角度に傾斜角度を持たせて加工するようにしたことを特徴とした回折光学格子素子形状の加工方法の提案により、回折格子素子形状等の微細形状加工を行うことができた。
請求項（抜粋）：
被加工面上に回折光学素子形状を加工する方法であって、前記被加工面のX,Y,Z各軸の座標軸上に加工刃を回転支持する主軸を設け、前記主軸に取り付けた加工刃の刃先角が前記回折光学素子形状の該曲面外周部の加工予定位置との干渉を避ける角度に傾斜角度を持たせて加工するようにしたことを特徴とした回折光学格子素子形状の加工方法。
Fターム (8件)：
3C022AA01 ,  3C022AA07 ,  3C022AA08 ,  3C022AA09 ,  3C022EE07 ,  3C022EE11 ,  3C022EE12 ,  3C022EE17
引用特許：
審査官引用 (4件)
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