特許
J-GLOBAL ID：200903051399995522
平坦なダイヤモンド膜の合成法とダイヤモンド自立膜及びダイヤモンド膜の研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-026353
公開番号（公開出願番号）：特開平7-215796
出願日： 1994年01月27日
公開日（公表日）： 1995年08月15日
要約：
【要約】【目的】 気相合成法により平坦なダイヤモンド自立膜を形成する事。【構成】 基材の上に、基材を除去した時に成長面側が凸に反る条件で合成したダイヤモンド凸型膜と、基材を除去した時に成長面側が凹に反る条件で合成したダイヤモンド凹型膜とを各1層以上気相合成法により形成し、基材を除去し、ダイヤモンド自立膜とする。
請求項（抜粋）：
基材の上に、基材を除去した時に成長面側が凸に反る条件で合成したダイヤモンド凸型膜と、基材を除去した時に成長面側が凹に反る条件で合成したダイヤモンド凹型膜とを各1層以上気相合成法により形成し、基材を除去し、ダイヤモンド自立膜とすることを特徴とする平坦なダイヤモンド膜の合成法。
IPC (3件)：
C30B 29/04
, C23C 16/26
, H01L 21/205
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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