特許
J-GLOBAL ID：200903051426672285
IC試験方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-314252
公開番号（公開出願番号）：特開平9-152466
出願日： 1995年12月01日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：
【要約】【課題】 背が低く、テストヘッドを外部に引き出す作業を容易に行うことができるIC試験方法及びその装置を提供する。【解決手段】 ICを搭載したテストトレーを垂直に立てた姿勢に保持し、垂直に立った姿勢のままテストヘッド104にICを接触させ、ICの試験を行うIC試験方法及び試験装置を提案し、背が低く、テストヘッドの位置を低い位置に設置できるIC試験方法及びその方法を用いた装置を提案する。
請求項（抜粋）：
ローダ部に送り込まれて停止状態にあるテストトレーに汎用トレーから複数のICを平面状に搭載し、このテストトレーを上記ローダ部に隣接して設けた恒温槽に送り込み、恒温槽内においてICに所望の温度の熱ストレスを与えると共に、恒温槽に隣接して設けられたテストチャンバに上記テストトレーを移動させ、テストチャンバに設けられたテストヘッドに上記テストトレーに搭載したICを順次電気的に接触させてICの動作をテストし、そのテスト結果を各IC毎に記憶し、テストチャンバに隣接して設けた除熱槽に上記テストトレーを移動させ、除熱槽において上記恒温槽で与えた高温又は低温を除熱すると共に、除熱されたテストトレーをアンローダ部に取出し、このアンローダ部において上記テスト結果の記憶に従って上記テストトレーに搭載されたICを分類し、良品と不良品に仕分けして汎用トレーに移し替える構成とされたIC試験装置において、上記恒温槽とテストチャンバ及び除熱槽を一列に配置すると共に、恒温槽とテストチャンバ及び除熱槽内において、上記テストトレーを垂直に立てた姿勢で移動させ、垂直に立った姿勢のテストヘッドに被試験ICを接触させて試験を行うことを特徴とするIC試験方法。
FI (2件)：
G01R 31/26 Z
, G01R 31/26 H
