特許

J-GLOBAL ID：200903051436010515

複合構造物の作製方法及び作製装置

発明者： 吉田 篤史 ,  清原 正勝 ,  鳩野 広典 ,  岩澤 順一 ,  明渡 純
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  東陶機器株式会社
代理人 (1件)： 小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-081141
公開番号（公開出願番号）：特開2004-285447
出願日： 2003年03月24日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：

【課題】エアロゾルデポジション法により複合構造物を作製する際に、構造物の形成速度を向上させることが可能となる脆性材料微粒子を調製し、この微粒子を用いる複合構造物作製方法及び装置を提供することを目的とする。【解決手段】脆性材料微粒子に水分を吸着させ、次いでこの微粒子の物理吸着水を除去することにより調製した微粒子を用いることにより構造物の形成速度が2倍以上に向上させることが可能となり、省エネルギー、省コストの効果がある。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

脆性材料微粒子に水分を吸着させる工程と、次いでこの脆性材料微粒子に吸着した水分のうち物理吸着水を除去する工程と、次いでこの脆性材料微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材に向けて噴射して衝突させ、この衝突の衝撃によって前記脆性材料微粒子の構成材料からなる脆性材料構造物を前記基材上に形成させる工程とからなることを特徴とする複合構造物の作製方法。

IPC (5件)：

C23C24/04 ,  B01J19/00 ,  C01F7/02 ,  C04B41/87 ,  C23C14/22

FI (5件)：

C23C24/04 ,  B01J19/00 K ,  C01F7/02 D ,  C04B41/87 B ,  C23C14/22 Z

Fターム (37件)：

4G075AA24 ,  4G075AA27 ,  4G075BB02 ,  4G075BB04 ,  4G075BB05 ,  4G075BB10 ,  4G075BC10 ,  4G075CA02 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EB01 ,  4G075EC01 ,  4G075EC25 ,  4G075EC30 ,  4G076AA02 ,  4G076CA02 ,  4G076CA40 ,  4K029BB00 ,  4K029BD00 ,  4K029CA00 ,  4K029CA15 ,  4K029DA05 ,  4K044AA01 ,  4K044AA11 ,  4K044AA12 ,  4K044AA13 ,  4K044AB09 ,  4K044BA11 ,  4K044BA12 ,  4K044BA13 ,  4K044BA14 ,  4K044BA15 ,  4K044BA18 ,  4K044BB13 ,  4K044CA02 ,  4K044CA23 ,  4K044CA53

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 複合構造物及びその製造方法並びに作製装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-002663   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 東陶機器株式会社
• 複合構造物とその製造方法および複合構造物形成用脆性材料粒子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-314449   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 東陶機器株式会社
• 積層構造体及びその原料粉、及び、圧電アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-144337   出願人：工業技術院長, 株式会社リコー