洗浄装置及び洗浄方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須山佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-011553
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209110
出願日： 1997年01月24日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】乾燥処理の際に薬液処理による悪影響を受けることがなく、また乾燥室の肉厚を薄くすることができ、減圧するために使用する真空ポンプ等の低出力化を図ることができる洗浄装置及び洗浄方法の提供。【解決手段】乾燥室42と洗浄槽41とをそれぞれ上下に分離すると共に、乾燥室42の空間と洗浄槽41の空間とを窒素ガスカーテン59c及びスライド扉72により遮蔽可能とし、洗浄槽41での洗浄処理を窒素ガスカーテン59cで遮蔽して、乾燥室42での乾燥処理をスライド扉72で密閉・遮蔽して行うように構成した。

請求項（抜粋）：

処理液を貯溜し、貯溜した処理液に被処理基板が浸漬される処理槽と、前記処理槽の上方に配置され、処理槽との間で被処理基板を移送するための開口部が設けられた乾燥室と、前記開口部を介して前記処理槽と前記乾燥室との間で被処理基板を移送する移送手段と、前記処理槽から前記乾燥室内への雰囲気の移動を阻止すべく前記乾燥室内に不活性ガスを導入する手段と、前記乾燥室内を有機溶剤の雰囲気にする手段とを具備することを特徴とする洗浄装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 351 , H01L 21/304 361

FI (2件)：

H01L 21/304 351 C , H01L 21/304 361 V

引用特許：

審査官引用 (7件)

乾燥処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-223932 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
特開平4-251930
特開昭61-152020

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