ウェーハリフト装置を備えたウェーハ保持装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-361488
公開番号（公開出願番号）：特開2002-164423
出願日： 2000年11月28日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】簡単且つ安価な構造でリフトピンを同期させて昇降させることを可能とさせるウェーハリフト装置を備えたウェーハ保持装置を提供する。【解決手段】ウェーハ保持装置10は、ウェーハ保持テーブルの周辺部又は周囲にウェーハ18を支持するための複数のリフトピン46を配置し、リフトピン46を昇降させることにより、ウェーハ18がウェーハ保持テーブルから上方に離間している上方位置とウェーハ18がウェーハ保持テーブル上に載置される下方位置との間でウェーハ18を移動させるウェーハリフト装置22を備えている。このウェーハリフト装置22がウェーハ保持テーブルの下方にウェーハ保持テーブルの中心軸線周りに回転可能なカム体38をさらに備え、カム体38上に形成したカム面40によって複数のリフトピン46を同時に昇降させるようになっている。

請求項（抜粋）：

ウェーハ保持テーブルの周辺部又は周囲にウェーハを支持するための複数のリフトピンを配置し、該リフトピンを昇降させることにより、前記ウェーハが前記ウェーハ保持テーブルから上方に離間している上方位置と前記ウェーハが該ウェーハ保持テーブル上に載置される下方位置との間で前記ウェーハを移動させるウェーハリフト装置を備えたウェーハ保持装置において、ウェーハ保持テーブルの下方に前記ウェーハ保持テーブルの中心軸線周りに回転可能なカム体を配置し、該カム体上に形成したカム面によって前記複数のリフトピンを同時に昇降させることを特徴としたウェーハリフト装置を備えたウェーハ保持装置。

Fターム (3件)：

5F031CA02 , 5F031HA13 , 5F031HA33

引用特許：

審査官引用 (4件)

半導体チップのピックアップ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-011887 出願人：熊本日本電気株式会社
特表平7-505261
熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-019237 出願人：キヤノン株式会社, キヤノン販売株式会社

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