特許
J-GLOBAL ID：200903051530574546
ベアチップ加熱装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 昂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-307926
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145776
出願日： 1995年11月27日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】本発明は低コストで装置の製作が実現でき、ベアチップを損傷することなしに所定温度に加熱することができるベアチップ加熱装置を提供することを目的とする。【解決手段】試験装置41のプローブ手段42にベアチップ36を接続し、ベアチップ36の電気的特性試験を行う場合にベアチップ36を所定温度に加熱するベアチップ加熱装置を、ベアチップ36を装着して加熱する熱伝導率の高い材質によるプレート34と、プレート34の温度を検出するセンサ手段39と、センサ手段39により検出された温度に応じてプレート34の温度を所定温度に制御する制御手段40とを具備して構成する。
請求項（抜粋）：
試験装置のプローブ手段にベアチップを接続し、該ベアチップの電気的特性試験を行う場合に該ベアチップを所定温度に加熱するベアチップ加熱装置において、前記ベアチップを装着して加熱する熱伝導率の高い材質から成るプレートと、該プレートの温度を検出するセンサ手段と、該センサ手段により検出された温度に応じて該プレートの温度を所定温度に制御する制御手段とを具備したことを特徴とするベアチップ加熱装置。
IPC (3件)：
G01R 31/26
, H01L 21/66
, H01L 23/34
G01R 31/26 H
, H01L 21/66 D
, H01L 21/66 H
, H01L 23/34 Z
, H01L 23/34 D
