特許
J-GLOBAL ID：200903051598943027

X線検査装置およびX線検査方法

発明者：
吉野 信治

吉野 信治 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (4件)： 板垣 孝夫 ,  森本 義弘 ,  笹原 敏司 ,  原田 洋平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-199488
公開番号（公開出願番号）：特開2007-017304
出願日： 2005年07月08日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：
【課題】クラックなどの細長い欠陥が断層面と直交している場合でも、その欠陥を容易に抽出でき、しかも短時間で検査を行い得るX線検査方法を提供する。【解決手段】X線を被検査物である回路形成体に対して照射しその内部を検査するX線検査方法であって、X線の照射方向と直交する軸心回りで所定角度置きに回転移動させられる回路形成体にX線を照射しその透過したX線を検出するX線照射ステップおよびX線検出ステップと、このX線検出ステップにて検出された透過X線データに基づき複数の断層画像を作成する断層画像作成ステップと、この断層画像作成ステップにて作成された複数の断層画像から互いに直交する3方向での投影画像を作成する投影画像作成ステップと、この投影画像作成ステップにて作成された投影画像に基づき回路形成体のクラックなどの欠陥を検出する欠陥検出ステップとが具備されたもの。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
X線を被検査物に照射してその内部を検査するX線検査装置であって、 被検査物を保持してX線の照射方向と直交する軸心回りで所定角度置きに回転移動またはX線の照射方向と平行な軸心回りに所定角度置きに首振り移動させる保持手段と、 この保持手段に保持され且つ所定角度置きに移動された被検査物にX線を照射するX線照射手段と、 上記被検査物を透過したX線を検出するX線検出手段と、 X線検出手段にて検出された透過X線データを蓄積するデータ蓄積手段と、 このデータ蓄積手段に蓄積された透過X線データに基づき複数の断層画像を作成する断層画像作成手段と、 この断層画像作成手段にて作成された複数の断層画像から複数方向における投影画像を作成する投影画像作成手段と、 この投影画像作成手段にて作成された複数の投影画像に基づき被検査物の欠陥を検出する欠陥検出手段と を具備したことを特徴とするX線検査装置。
IPC (1件)：
G01N 23/04
FI (1件)：
G01N23/04
Fターム (14件)：
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001FA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA07 ,  2G001HA13 ,  2G001HA14 ,  2G001JA08 ,  2G001JA12 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001PA12
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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