電解洗浄装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-262001
公開番号（公開出願番号）：特開平8-100300
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【目的】本発明は、電解洗浄能力が格段に向上した電解洗浄装置を提案する。【構成】回転駆動した電解洗浄対象23にノズル24から電解液25を吐出すると共に、このとき電解洗浄対象23及び電解液25間に電流を流すことにより、電解洗浄対象23を電解洗浄する。この結果電解洗浄能力が格段に向上する。

請求項（抜粋）：

電解洗浄対象をほぼ水平な面内で回転駆動する駆動手段と、回転された上記電解洗浄対象の電解対象面に対向する方向から電解液を吐出する電解液吐出手段と、上記電解洗浄対象に正又は負の電圧を印加すると共に、上記電解液に上記電解洗浄対象に印加した電圧と反対の電圧を印加する電圧印加手段とを具え、上記電解洗浄対象と上記電解液を通電させることにより上記電解洗浄対象を電解洗浄することを特徴とする電解洗浄装置。

引用特許：

審査官引用 (7件)

枚葉式半導体製造ウェット処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-000457 出願人：日本電気株式会社
特公昭38-005408
特開昭62-214534

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