特許
J-GLOBAL ID：200903051682061889

リソグラフィ用大型ペリクル収納容器

発明者：
永田 愛彦

永田 愛彦 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (3件)： 荒井 鐘司 ,  河野 尚孝 ,  嶋崎 英一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-179619
公開番号（公開出願番号）：特開2006-350231
出願日： 2005年06月20日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：
【課題】 保持枠が変形せず、ペリクル膜が変形することのない、取扱い及び搬送が容易で、簡単な構造で補強することのできるリソグラフィ用大型ペリクル収納容器を提供する。【解決手段】 一辺の長さが300mm以上で、外形が4辺以上の辺より構成される枠体でペリクル膜を保持する大型ペリクルを収納する収納容器であって、該収納容器が樹脂で形成され、外形の少なくとも一部が収納容器より大きな容器補強体上に、該収納容器が載置又は載置後接合されてなることを特徴としている。なお、収納容器は、ペリクルを収めるカバーと該カバーを支持・運搬するためのトレーから構成されている。この容器補強体には、持ち運び用の取っ手を設けるとよい。また、容器補強体は、金属製又は樹脂製、あるいは樹脂と金属の複合材料や、樹脂と無機材料の複合材料で構成するのが好ましい。無機材料には、炭素繊維が挙げられる。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
一辺の長さが300mm以上で、外形が4辺以上の辺より構成される枠体でペリクル膜を保持する大型ペリクルを収納する収納容器であって、該収納容器が樹脂で形成され、外形の少なくとも一部が収納容器より大きな容器補強体上に、該収納容器が載置又は載置後接合されてなることを特徴とするリソグラフィ用大型ペリクル収納容器。
IPC (4件)：
G03F 1/14 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/673 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F1/14 J ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 T ,  H01L21/30 502P
Fターム (11件)：
2H095BA02 ,  2H095BC31 ,  2H095BC36 ,  5F031CA07 ,  5F031DA12 ,  5F031EA02 ,  5F031EA03 ,  5F031EA12 ,  5F031EA20 ,  5F031PA18 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 特開昭58-219023号公報
  • 米国特許第4861402号
  • 特公昭63-27号公報
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審査官引用 (2件)
  • 大型ペリクル収納容器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-283891   出願人：旭化成電子株式会社
  • ペリクル収納容器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-081533   出願人：信越化学工業株式会社

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