特許
J-GLOBAL ID：200903035240753417

ペリクル収納容器

発明者：
野崎 聡

野崎 聡 について

, 
関原 一敏

関原 一敏 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (3件)： 荒井 鐘司 ,  河野 尚孝 ,  嶋崎 英一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-081533
公開番号（公開出願番号）：特開2006-267179
出願日： 2005年03月22日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】 収納するペリクルに異物が付着しないようにし、ペリクルの汚損を防止して品質を維持することの出来るフォトリソグラフィー用ペリクル収納容器を提供する。【解決手段】 ペリクルを載置する容器本体と、ペリクルを被覆すると共に容器本体と互いに周縁部で嵌合係止する蓋体とからなるペリクル収納容器において、ペリクルフレーム外側面に設けられた穴にフレーム保持ピンを挿入してペリクルを保持する。前記容器本体が樹脂であり、前記容器本体に金属部品が接合されているものであること、ペリクルを保持する前記フレーム保持ピンを位置決めする位置決め部品と容器本体に組み付けた前記金属部品とが機械的に連結していること、ペリクルを保持する前記フレーム保持ピンのペリクルフレームとの接触部に弾性体を設置したこと、がそれぞれ望ましく、更に、前記容器本体および前記蓋体の材質が樹脂であり、それらの表面抵抗値が1×1012Ω/□以下の帯電防止性能を有していることが更に、好ましい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ペリクルを載置する容器本体と、ペリクルを被覆すると共に容器本体と互いに周縁部で嵌合係止する蓋体とからなるペリクル収納容器において、ペリクルフレーム外側面に設けられた穴にフレーム保持ピンを挿入してペリクルを保持することを特徴とするペリクル収納容器。
IPC (3件)：
G03F 1/14 ,  H01L 21/027 ,  B65D 85/86
FI (5件)：
G03F1/14 K ,  G03F1/14 M ,  H01L21/30 502P ,  B65D85/38 R ,  B65D85/38 S
Fターム (19件)：
2H095BC31 ,  2H095BC36 ,  2H095BE12 ,  3E096AA01 ,  3E096BA30 ,  3E096BB05 ,  3E096CA06 ,  3E096CB02 ,  3E096CC10 ,  3E096DA09 ,  3E096DB01 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02X ,  3E096EA06Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA07 ,  3E096FA09 ,  3E096FA20 ,  3E096GA12
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 実公平6-45965号公報
  • ペリクル収納ケース
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-342552   出願人：旭化成電子株式会社
  • ペリクルの収納構造
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-208959   出願人：旭化成電子株式会社
審査官引用 (3件)
  • ペリクル枠保持具
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-031400   出願人：信越化学工業株式会社
  • ペリクル収納容器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-245823   出願人：信越ポリマー株式会社, 信越化学工業株式会社
  • 大型ペリクル収納容器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-283891   出願人：旭化成電子株式会社

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