特許

J-GLOBAL ID：200903051805376588

シリンダ機構の情報蓄積装置および情報蓄積方法ならびに管理システム

発明者： 吉本 裕二 ,  上村 良一 ,  緒方 久仁恵 ,  出口 洋一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-105855
公開番号（公開出願番号）：特開2002-301638
出願日： 2001年04月04日
公開日（公表日）： 2002年10月15日
要約：

【要約】【課題】 シリンダ機構の動作に係る情報を有効に利用可能な状態で蓄積することができるシリンダ機構の情報蓄積装置および情報蓄積方法を提供すること、および、シリンダ機構の動作情報を把握してシリンダ機構を管理することができるシリンダ機構の管理システムを提供すること。【解決手段】 シリンダ機構130における所定の動作に対応する信号を検出する検出手段111と、検出手段111の検出情報を時刻情報として蓄積する情報蓄積部106とで構成される。

請求項（抜粋）：

シリンダ機構の情報を蓄積するシリンダ機構の情報蓄積装置であって、前記シリンダ機構における所定の動作に対応する信号を検出する検出手段と、前記検出手段の検出情報を時刻情報として蓄積する情報蓄積部とを具備することを特徴とするシリンダ機構の情報蓄積装置。

IPC (5件)：

B23Q 16/02 ,  F16J 1/00 ,  G01D 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

B23Q 16/02 J ,  F16J 1/00 ,  G01D 9/00 Y ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 562

Fターム (24件)：

2F070AA01 ,  2F070CC04 ,  2F070CC06 ,  3C028DD13 ,  3J044AA20 ,  3J044DA10 ,  5F031CA02 ,  5F031HA33 ,  5F031HA37 ,  5F031JA01 ,  5F031JA21 ,  5F031JA31 ,  5F031JA45 ,  5F031JA51 ,  5F031LA15 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031PA02 ,  5F046CD01 ,  5F046CD10 ,  5F046JA02 ,  5F046JA22 ,  5F046KA04 ,  5F046LA18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ICハンドラ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-115601   出願人：株式会社日立製作所, 日立清水エンジニアリング株式会社
• 制御システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-168160   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 半導体製造プロセス安定化支援システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-056611   出願人：株式会社日立製作所