特許
J-GLOBAL ID：200903051839038312
統合減結合コンデンサを有する容量性RF-MEMS装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
杉村 憲司
, 杉村 興作
, 来間 清志
, 藤谷 史朗
, 澤田 達也
, 藤原 英治
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-509546
公開番号（公開出願番号）：特表2008-541420
出願日： 2006年04月21日
公開日（公表日）： 2008年11月20日
要約：
本発明は、縦方向に統合される減結合コンデンサ(デカップリングキャパシタ)(14)を備える容量性のRF-MEMS装置を提供する。減結合コンデンサ(14)は従って余分な領域(面積)を取らない。さらに、本発明に従うRF-MEMSはより一層少ない相互接続しか必要とせず、それはまた、空間を節約し、及びそれはRF路(path)における連続するインダクタンス/抵抗を減らす。
請求項（抜粋）：
容量性の高周波-微小電気機械システム(RF-MEMS)装置であって、面において横たわる基板に固定される第1電極、及び第1電極上に浮き、及び基板に関して移動可能な第2電極を備え、そこで更に、第1及び第2の電極間で基板の面に実質垂直な方向において統合される作動性の電極を備える、装置。
IPC (3件)：
H01G 5/16
, B81B 3/00
, B81C 1/00
H01G5/16
, B81B3/00
, B81C1/00
3C081AA13
, 3C081BA22
, 3C081BA32
, 3C081BA43
, 3C081BA48
, 3C081BA53
, 3C081CA03
, 3C081CA14
, 3C081CA29
, 3C081DA27
, 3C081EA23
