特許
J-GLOBAL ID：200903095255912093

同調可能なMEMSフィルムバルク音響波マイクロ共振器

発明者：
フィリップ・ロバート

フィリップ・ロバート について


出願人/特許権者：
コミツサリア タ レネルジー アトミーク

コミツサリア タ レネルジー アトミーク について


代理人 (5件)： 志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-568775
公開番号（公開出願番号）：特表2005-528010
出願日： 2003年02月11日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：
本発明は、懸架されたバルク音響波マイクロ共振器に関するものであって、圧電材料製の梁(1)を具備している。この梁は、支持体(3)に対して連結されているとともに、励起電極(4,5)の間に介装されている。本発明による共振器は、さらに、共振周波数を変更し得るよう、励起された梁を備えて構成された共振器の制限条件を変更するための変更手段を具備している。
請求項（抜粋）：
懸架されたフィルムバルク音響波マイクロ共振器であって、 支持体(3,13,63,93,103,123)に対して固定されているとともに、与えられた共振周波数で動作し得るように選択された厚さのものとされた、圧電材料製の梁(1,11,61,91,101,121)と; この梁の厚さ方向においてこの梁を挟み込んでいる励起電極(4,5;14,15;64,65;94,95;104,105;124,125)と; を具備してなり、 さらに、前記共振周波数を変更し得るよう、励起された前記梁を備えて構成された前記共振器の制限条件を変更するための変更手段を具備していることを特徴とするマイクロ共振器。
IPC (3件)：
H03H9/24 ,  B81B3/00 ,  H03H9/17
FI (3件)：
H03H9/24 Z ,  B81B3/00 ,  H03H9/17 F
Fターム (8件)：
5J108AA07 ,  5J108CC01 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108KK07
引用特許：
審査官引用 (11件)
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