特許
J-GLOBAL ID:200903051858408791

CPP-GMR再生ヘッドおよびその製造方法、ならびにCPP-GMR素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 三反崎 泰司 ,  藤島 洋一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-154539
公開番号(公開出願番号):特開2005-339784
出願日: 2005年05月26日
公開日(公表日): 2005年12月08日
要約:
【課題】 より高い信号検出感度と安定した性能とを実現するCPP-GMR再生ヘッドおよびその製造方法ならびにCPP-GMR素子を提供する。【解決手段】 GMR素子1のフリー層20が、鉄含有率が65at%〜72at%のNiFe層21を含むように構成する。これにより、良好な軟磁気特性と許容範囲内の磁歪定数を維持しつつ、より大きな抵抗変化率(GMR比)を確保することができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
下部リード層の上に、シード層およびピンニング層を連続的に形成する工程と、 前記ピンニング層の上にピンド層を形成する工程と、 前記ピンド層の上に非磁性層スペーサ層を形成する工程と、 前記非磁性層スペーサ層の上に、鉄(Fe)を65ないし72原子%含有するニッケル鉄(NiFe)層と鉄を25原子%含有するコバルト鉄(CoFe)層とを含むフリー層を形成する工程と、 前記フリー層の上にキャップ層および上部リード層をこの順で形成する工程と を含むことを特徴とするCPP-GMR再生ヘッドの製造方法。
IPC (3件):
G11B5/39 ,  H01F10/32 ,  H01L43/08
FI (4件):
G11B5/39 ,  H01F10/32 ,  H01L43/08 M ,  H01L43/08 Z
Fターム (6件):
5D034BA03 ,  5D034CA06 ,  5D034DA07 ,  5E049AA04 ,  5E049AC05 ,  5E049BA12
引用特許:
出願人引用 (7件)
  • 米国特許第6686068号
  • 米国特許第6562199号
  • 米国特許第6473279号
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審査官引用 (3件)

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