アクティブ除振装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鵜沼辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-099764
公開番号（公開出願番号）：特開平7-310779
出願日： 1994年05月13日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：

【要約】【目的】定盤と定盤に搭載された機器の加速度等を検出し、その信号に基づいてアクチュエータを制御し振動を低減可能とする。【構成】機器5と定盤4とにそれぞれの振動を検出する複数の検出器9X,9Y,9Zを配設し、コントローラ30は、それぞれの検出器9X,9Y,9Zの信号に応じてそれぞれの上下方向用アクチュエータ8aを制御し機器5の部材間、つまり内部構造部材7と可動部材6との間、又は機器5の部材6,7と定盤4との間のそれぞれの信号の相対値を低減させるものである。【効果】機器内部の加振源による振動と床振動に対して、機器の部材間の相対変位が低減できる。

請求項（抜粋）：

床と機器を搭載する定盤との間に設けた複数の上下方向用アクチュエータと、検出器の信号に応じてそれぞれの上下方向用アクチュエータを制御するコントローラとを備えたアクティブ除振装置において、前記定盤と前記機器とにそれぞれの振動を検出する複数の検出器を配設し、前記コントローラは、それぞれの検出器の信号に応じてそれぞれの上下方向用アクチュエータを制御し前記機器の部材間又は該機器の部材と前記定盤との間のそれぞれの信号の相対値を低減させるものであることを特徴とするアクティブ除振装置。

IPC (5件)：

F16F 15/02 , G01H 1/00 , G05D 19/02 , G12B 9/08 , F16F 9/50

引用特許：

審査官引用 (14件)

アクテイブ除振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-342027 出願人：株式会社竹中工務店, 藤田隆史, 日立プラント建設株式会社, 株式会社日立建設設計, 特許機器株式会社
特開平3-219140
特開平1-307537

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