特許
J-GLOBAL ID：200903051877638323
パイプ状イオナイザ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森田 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-364319
公開番号（公開出願番号）：特開2002-170752
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：
【要約】【課題】 発生イオンの再結合を防止して除電効率を高める。比較的小面積の被除電物を対象として使い勝手の良いパイプ状イオナイザを提供する。【解決手段】 エミッタ16を有するイオン発生部22に高電圧を印加して発生させたイオンを、気体の圧力により被除電物方向へ噴射させるようにしたイオナイザに関する。通気パイプ11の先端部に設けられたイオン発生部22に高電圧を印加するためのケーブル17を通気パイプ11の長さ方向に沿って内部または外周面に配置すると共に、イオン発生部22により発生したイオンを通気パイプ11内を通過する気体により被除電物方向へ噴射させる。
請求項（抜粋）：
エミッタを有するイオン発生部に高電圧を印加して発生させたイオンを、気体の圧力により被除電物方向へ噴射させるようにしたイオナイザにおいて、通気パイプの先端部に設けられたイオン発生部に高電圧を印加するためのケーブルを前記通気パイプの長さ方向に沿って配置すると共に、前記イオン発生部により発生したイオンを前記通気パイプ内を通過する気体により被除電物方向へ噴射させることを特徴とするパイプ状イオナイザ。
IPC (4件)：
H01L 21/02
, G21K 5/04
, H01T 23/00
, H05F 3/04
H01L 21/02 Z
, G21K 5/04 A
, H01T 23/00
, H05F 3/04 C
