特許
J-GLOBAL ID:200903051880830529

ガスセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 足立 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-046057
公開番号(公開出願番号):特開平10-239271
出願日: 1997年02月28日
公開日(公表日): 1998年09月11日
要約:
【要約】【課題】 適正なセンサ出力が得られ信頼性の高いガスセンサを提供すること。【解決手段】 ガスセンサ1は、固体電解質であるYSZ(イットリア安定化ジルコニア)からなる基体2の一方の表面に、Ptを主成分とする第1及び第2検知電極3,4と、各検知電極3,4から伸びるPtを主成分とするの第1及び第2配線パターン6,7とを備えている。第2配線パターン7上には、端子部7aを除いてその表面全体を覆う様に、アルミナからなる通気性のない緻密な厚さ10μmの電気絶縁層8が設けられている。また、第2検知電極4の表面全体は、多孔質の酸化触媒層9で覆われており、この酸化触媒層9は、1重量%のPtを担持したγ-Al2O3からなる層である。
請求項(抜粋):
固体電解質基体上に、一対の検知電極と該一対の検知電極から各々伸びる配線パターンとを備えるとともに、一方の検知電極の表面側に可燃性ガスを燃焼させる酸化触媒層を備え、前記一対の検知電極における酸化反応の違いによって両検知電極間に生ずる起電力に基づいて、前記可燃性ガスの濃度を検出するガスセンサであって、少なくとも前記酸化触媒層を設けた検知電極の配線パターンの表面を、気密性を有する電気絶縁層で覆ったことを特徴とするガスセンサ。
引用特許:
審査官引用 (5件)
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