特許

J-GLOBAL ID：200903051905549455

ガラス状炭素製チャンバー内壁保護部材

発明者： 小鍛治 和己
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-152401
公開番号（公開出願番号）：特開2002-353192
出願日： 2001年05月22日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】【課題】 プラズマによる内壁浸蝕に起因する金属汚染を防止し、かつプロセスの安定化に必要な機能を満たし、長時間使用することが可能なガラス状炭素製チャンバー内壁保護部材を提供する。【解決手段】 プラズマエッチング装置に用いられるガラス状炭素製チャンバー内壁保護部材において、灰分が50ppm以下及び熱伝導率が5W/m・K以上であるガラス状炭素製チャンバー内壁保護部材。

請求項（抜粋）：

プラズマエッチング装置に用いられるガラス状炭素製チャンバー内壁保護部材(以下チャンバーライナーとする)において、灰分が50ppm以下及び熱伝導率が5W/m・K以上であるガラス状炭素製チャンバーライナー。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 ,  C23C 16/44

FI (2件)：

C23C 16/44 J ,  H01L 21/302 B

Fターム (8件)：

4K030CA04 ,  4K030DA08 ,  4K030FA01 ,  4K030KA30 ,  4K030KA46 ,  4K030LA15 ,  5F004AA15 ,  5F004BB29

引用特許：

審査官引用 (2件)

• チャンバー内壁保護部材及びプラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-119022   出願人：東海カーボン株式会社, 東京エレクトロン株式会社
• 誘導結合プラズマエッチング装置のチャンバー内壁
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-164976   出願人：東海カーボン株式会社