特許

J-GLOBAL ID：200903078222626301

チャンバー内壁保護部材及びプラズマ処理装置

発明者： 灰野 和義 ,  風間 晃一
出願人/特許権者： 東海カーボン株式会社 ,  東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 福田 保夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-119022
公開番号（公開出願番号）：特開平11-312646
出願日： 1998年04月28日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】 ガラス状カーボン材の材質性状を特定して、長時間に亘り安定使用が可能なプラズマ処理装置のチャンバー内壁保護部材及び該保護部材を配置したプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】 プラズマ処理装置のチャンバー内壁を保護する中空形状の保護部材であって、体積比抵抗が1×10-2Ω・cm以下、熱伝導率が5W/ m・K以上の特性を有するガラス状カーボン材から一体型構造に形成されてなるチャンバー内壁保護部材。保護部材の厚さは4mm以上であり、その内面の平均面粗さ(Ra)は2.0μm 以下であることが好ましい。プラズマ処理装置は、これらの材質性状を備えたチャンバー内壁保護部材をプラズマ処理装置のチャンバー内壁部に沿って配置し、チャンバー内壁部と保護部材とを電気的に導通するとともにチャンバーが接地されて構成されている。

請求項（抜粋）：

プラズマ処理装置のチャンバー内壁を保護する中空形状の保護部材であって、体積比抵抗が1×10-2Ω・cm以下、熱伝導率が5W/ m・K以上の特性を有するガラス状カーボン材から一体型構造に形成されてなることを特徴とするチャンバー内壁保護部材。

IPC (5件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46

FI (5件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 A ,  H05H 1/46 A ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平4-349197
  
• プラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-046077   出願人：アネルバ株式会社
• バレル型サセプター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-174372   出願人：東芝セラミックス株式会社
• 特開平4-349197
  
• 特開平4-349197