特許
J-GLOBAL ID：200903051911832150
表面検査装置、およびその方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀口 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-372860
公開番号（公開出願番号）：特開2006-177852
出願日： 2004年12月24日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：
【課題】 薄鋼板や、厚鋼板の移動表面の凹凸キズと汚れとの識別能力を向上させた表面検査装置、及びその方法を提供することを目的とする。【解決手段】 検査領域Aに光を照射する照明手段3と、表面5からの反射光を受光する受光手段1及び第2の受光手段2と、受光手段1及び受光手段2からの画像信号に基づいて、凹凸キズと汚れとを識別処理する画像処理手段7とを有し、画像処理手段7は、受光手段1からの第1の画像と受光手段2からの第2の画像との画像の位置ずれを、いずれかを一方の元画像の位置に補正して補正画像とし、この補正画像と元画像との差を求める座標変換処理部7bと、差分から凹凸キズの候補領域を抽出する凹凸候補抽出処理部7cと、候補領域について元画像と補正画像との相関値を求める正規化相関演算部7dと、相関値の大小から凹凸キズと汚れを識別する凹凸判定部7とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
移動する被検査物の表面の凹凸キズと汚れを識別検出するための表面検査装置であって、
前記被検査物表面の所定の検査領域に光を照射する照明手段と、前記被検査物表面からの反射光を前記被検査物の移動方向の両側端上部から前記照明手段の投光角度と異なる受光角度で受光する第1の受光手段及び第2の受光手段と、前記第1の受光手段及び前記第2の受光手段からの画像信号に基づいて、凹凸キズと汚れとを識別処理する画像処理手段とを有し、
前記画像処理手段は、前記第1の受光手段からの第1の画像と前記第2の受光手段からの第2の画像との画像の位置ずれを、いずれかを一方の元画像の位置に補正して補正画像とし、この補正画像と前記元画像との差を求める座標変換処理手段と、
前記座標変換処理手段からの差の出力を2値化して凹凸キズの候補領域を抽出する凹凸候補抽出処理手段と、
抽出された前記凹凸キズの候補領域についての前記元画像と前記補正画像との相関値を求める相関演算手段と、
前記相関演算手段で求めた相関値の大小から凹凸キズと汚れとを識別する凹凸判定手段とを備えたことを特徴とする表面検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/892 A
, G01B11/30 A
2F065AA49
, 2F065BB13
, 2F065BB15
, 2F065CC06
, 2F065EE00
, 2F065FF41
, 2F065HH12
, 2F065JJ02
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ08
, 2F065JJ25
, 2F065JJ26
, 2F065QQ00
, 2F065QQ25
, 2F065QQ41
, 2F065QQ42
, 2G051AA32
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051AB20
, 2G051AC21
, 2G051CA03
, 2G051CA07
, 2G051DA06
, 2G051EA23
, 2G051EB01
, 2G051EC01
, 2G051EC06
, 2G051ED01
, 2G051ED23
