特許
J-GLOBAL ID：200903091075458283

画像認識による不良検査方法

発明者：
四方 博実

四方 博実 について


出願人/特許権者：
谷電機工業株式会社

谷電機工業株式会社 について


代理人 (1件)： 田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-341081
公開番号（公開出願番号）：特開2004-177170
出願日： 2002年11月25日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：
【課題】グレースケールの画像認識技術を用い、正規化相関法のPMを利用し、フラット表面をもつプリント基板、シート等の上での異物等の不良部を高精度かつ高速に検査できる画像認識による不良検査方法を提供する。【解決手段】画像認識による不良検査方法を実施する装置31は撮像系13とコンピュータ14から構成される。入力検査画像に対する画像処理では、グレースケールに対する正規化相関法によるパターンマッチング法(PM)が用いられる。この画像処理で用いられるPMモデルとして、無地フラットパターンのテンプレート、当該テンプレートのメッシュ分割(1次元/2次元/両者併用)が用いられる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
グレースケールについてのパターンマッチング法を用いて無地またはテクスチャ模様のフラット表面を持つ被検物の上の不良部を検出することを特徴とする画像認識による不良検査方法。
IPC (5件)：
G01N21/88 ,  G01B11/30 ,  G06T1/00 ,  G06T7/00 ,  H01L21/66
FI (5件)：
G01N21/88 J ,  G01B11/30 Z ,  G06T1/00 305A ,  G06T7/00 300E ,  H01L21/66 J
Fターム (48件)：
2F065AA00 ,  2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC02 ,  2F065CC06 ,  2F065CC19 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ42 ,  2G051AA32 ,  2G051AA41 ,  2G051AA51 ,  2G051AA65 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051EC03 ,  2G051EC06 ,  2G051ED04 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA41 ,  4M106DB21 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA03 ,  5B057DC34 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096FA34 ,  5L096FA41 ,  5L096HA07 ,  5L096JA03
引用特許：
審査官引用 (3件)

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