特許
J-GLOBAL ID：200903049433941815

移動表面の自動的な検査のための方法及び装置

発明者：
デトレフ・パウル

デトレフ・パウル について

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ペルッティ・コンティオ

ペルッティ・コンティオ について

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ティモ・ピイロネン

ティモ・ピイロネン について

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アリ・ヘルケネン

アリ・ヘルケネン について

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マルッティ・カルッピネン

マルッティ・カルッピネン について


出願人/特許権者：
スペクトラ-フィジックス・ビジョンテック・オイ

スペクトラ-フィジックス・ビジョンテック・オイ について


代理人 (1件)： 野口 繁雄
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-507998
公開番号（公開出願番号）：特表2001-514386
出願日： 1998年07月21日
公開日（公表日）： 2001年09月11日
要約：
【要約】移動表面の自動的な検査のための方法及び装置において、検査される表面(S)は、第1の信号(R)を得るために、第1の照射/観察経路によって第1の観察条件下で観察され、その表面(S)は、第2の信号(G)及び第3の信号(B)を得るために、第2及び第3の照射/観察経路によって第2の観察条件下で観察され、第1、第2及び第3の信号(R,G,B)から、その表面(S)の物理的特性についての情報が導かれる。
請求項（抜粋）：
少なくとも3つの異なる照射/観察経路を使用する、移動表面の自動的検査のための方法において、 a)第1の信号(R)を得るために、検査される前記表面(S)を第1の光源(L1)からの第1の光束(312)によって明視野条件下で照射し、前記表面(S)から再放射された第1の光束の光を光感受センサー装置(C)によって受ける工程、 b)第2の信号(G)及び第3の信号(B)を得るために、前記表面(S)を第2及び第3の光源(L2,L3)からの第2の光束(314)及び第3の光束(316)によって暗視野条件下でそれぞれ照射し、前記第1、第2及び第3の光束(312、314,316)は異なる特性をもっており、及び前記表面(S)から再放射された第2の光束の光と第3の光束の光をそれぞれ前記光感受センサー装置(C)によって受ける工程、並びに c)前記第1、第2及び第3の信号(R,G,B)から前記表面(S)の物理的特性を導く工程、を備えている方法。
IPC (3件)：
G01N 21/57 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/89
FI (3件)：
G01N 21/57 ,  G01N 21/27 Z ,  G01N 21/89 Z
Fターム (47件)：
2G051AA37 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051BB05 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CD03 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA17 ,  2G051EA20 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059CC20 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059EE13 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059GG03 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ07 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059KK04 ,  2G059MM02 ,  2G059MM03 ,  2G059MM05 ,  2G059MM09
引用特許：
出願人引用 (10件)
  • 特開昭63-176825
  • 特開昭61-023004
  • 検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-307603   出願人：芳賀一実, 株式会社レイテックス
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審査官引用 (16件)
  • 検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-307603   出願人：芳賀一実, 株式会社レイテックス
  • 特開平2-141604
  • 特開平2-141604
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