特許
J-GLOBAL ID：200903051938984440

プラズマ処理装置

発明者：
松本 直樹

松本 直樹 について


出願人/特許権者：
住友金属工業株式会社

住友金属工業株式会社 について


代理人 (1件)： 河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-264630
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111493
出願日： 1997年09月29日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 大面積の均一処理が可能なプラズマ処理装置を提供すること。【解決手段】 マイクロ波分配器27は、導波管23と略同じ幅の導入部27a と、2股に分岐しており、夫々が斜めに延びる分岐部27b と、分岐部27b の各先端からマイクロ波進行方向に平行延びる平行部27c と、誘電体線路28と略同じ幅の分割部27d とを有する。導入部27a と分岐部27b との境界部中央(分岐点)にはスタブ27e が設けられている。分割部27d は、マイクロ波進行方向に延びる仕切り板27f, 27g, 27g にて4つに均等に仕切られている。マイクロ波分配器27の各部は、n・λg/4 (n:正の整数)の長さであり、共振器構造をなす。3枚の仕切り板29で仕切られた領域には、誘電体線路28を構成するフッ素樹脂製の4枚の矩形板28a, 28a, 28a, 28aが嵌合されている。導波管23の幅Wと平行部27c の幅Wc と分割された各領域の幅Wd とは、略等しいことが望ましい。
請求項（抜粋）：
マイクロ波導波管を介して、マイクロ波進行方向に延びる板状の誘電体線路へ導入されたマイクロ波によって電界が生成され、該電界を使用してプラズマを発生させ、被処理物に処理を施すプラズマ処理装置において、前記マイクロ波導波管と前記誘電体線路との間に設けられており、複数の分岐路を有するマイクロ波分配器を備え、前記誘電体線路は、前記分岐路の先端から延びる複数の矩形板で構成されており、該複数の矩形板の間は導電体板で仕切られていることを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065
FI (4件)：
H05H 1/46 A ,  H05H 1/46 B ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B
引用特許：
出願人引用 (8件)
  • 特許第3491190号
  • マイクロ波励起プラズマ処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-303363   出願人：株式会社東芝
  • プラズマ処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-153357   出願人：東京エレクトロン株式会社, 後藤尚久, 安藤真, 高田潤一, 堀池靖浩
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