特許
J-GLOBAL ID：200903086034863340

プラズマ装置

発明者：
馬渕 博嗣

馬渕 博嗣 について

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吉識 隆裕

吉識 隆裕 について

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松本 直樹

松本 直樹 について

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江畑 敏樹

江畑 敏樹 について

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小町 恭一

小町 恭一 について


出願人/特許権者：
住友金属工業株式会社

住友金属工業株式会社 について


代理人 (1件)： 森 道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-117334
公開番号（公開出願番号）：特開平8-316198
出願日： 1995年05月16日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：
【要約】【構成】一つのマイクロ波発振器26と、複数の誘電体層21a、21bと、マイクロ波発振器26から複数の誘電体層21a、21bへマイクロ波を分岐して伝搬させるマイクロ波導波路23と、マイクロ波導入窓4を有する反応容器とを備え、複数の誘電体層21a、21bが並列して配置され、その並列配置された誘電体層21a、21bにマイクロ波導入窓4が対向するように反応容器が配置されているプラズマ装置。【効果】液晶ディスプレイ用ガラス基板等の大面積の基板を安定してしかも容易な構成で均一にプラズマ処理することができる。
請求項（抜粋）：
一つのマイクロ波発振器と、複数の誘電体層と、前記マイクロ波発振器から前記複数の誘電体層へマイクロ波を分岐して伝搬させるマイクロ波導波路と、マイクロ波導入窓を有する反応容器とを備え、前記複数の誘電体層が並列して配置され、その並列配置された誘電体層にマイクロ波導入窓が対向するように反応容器が配置されていることを特徴とするプラズマ装置。
IPC (5件)：
H01L 21/3065 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46
FI (5件)：
H01L 21/302 B ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 D ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46 B
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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